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  • 产品名称：iXH 干式工业级真空泵系统

  • 产品型号：
  • 产品厂商：Edwards
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简单介绍：
iXH 干式工业级真空泵系统系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的，为严苛制程能力 树立了新标准，它在上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程性实现低成本。 iXH 干式工业级真空泵系统可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以在严苛制程中具有大性。
详情介绍：
iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场 iH 产品的，为严苛制程能力 树立了新标准，它在上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程性实现低成本。 
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外，这些泵还配备多种特性 以在严苛制程中具有大性。 
iXH 泵采用模块化设计，符合 当今的制程要求，并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。



应用

半导体的目标应用包括：
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI

FPD 的目标应用包括：
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔

主要特性和优势
针对的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小，高度更低，便于在任何工厂中安装。

符合主要的标准，包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。




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