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  • 产品名称：STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵

  • 产品型号：STP-iXA2206C
  • 产品厂商：Edwards
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简单介绍：
STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵为磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。 STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。
详情介绍：
概要
STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内的性能，可将小型电源供给集成到机载控制器内（成熟的 STP-iXA2205 系列的新）。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度，也等于 STP-iXA2205 系列（不带其电源供给 (iPS-1200)）的高度。 这一集成的产品易于安装且占地面积小，可作为应用工具的一体化解决方案。

用途
金属（铝）、钨和电介质（氧化物）以及多晶硅等离子刻蚀（氯化物、氟化物和溴化物）
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源，射束线泵送和站

特性与优势
紧凑型设计，包括集成的控制器
性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程


数据

入口法兰尺寸 ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸 KF40
抽速 N2/Ar 2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2 >108 / 1 x 104
极限压力 10-7 Pa (10-9 Torr)
允许的前级压力 266  Pa (2 Torr)
大气流 N2 （仅水冷） 3000 sccm

(5.07 Pam3s-1)
大气流 Ar （仅水冷） 1400 sccm

(2.36 Pam3s-1)
额定速度 27000 rpm
运转到 90% 额定速度的时间 <8 分钟
固定位置 任何方向
输入电压 200-240 V
大输入功率（不带 TMS） 1200 VA
重量 62 kg

大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体，并且使用前级泵（10,000 l/min 大小）的情况。 它会随条件变化而变化。

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