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- iXL系列半导体真空干泵
- EPX系列半导体真空干泵
- GX系列半导体干式泵
产品详情
简单介绍:
GX100L 爱德华半导体干式真空泵为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。
GX100L 爱德华半导体干式真空泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
详情介绍:
製品概要
GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
负载锁
输送
计量
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的快的负载锁定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
需要恒流阀附件
GX100L 爱德华半导体干式真空泵订购信息:
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958
GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
负载锁
输送
计量
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的快的负载锁定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
参数
绩效 |
|
峰值速度 | 105 m3h-1 |
|
62 ft3min-1 |
|
1750 lmin-1 |
极限压力 | 5 x 10-3 mbar |
|
3.75 x 10-3 Torr |
|
0.5 Pa |
700 Torr 排气压力下的极限 |
|
功率 | 1 kW |
AUC(有源设备控制器) | 0.05 kW |
水 |
|
水入口 | 1 slm |
氮气 | 0 slm |
安装详细信息 |
|
占地面积(不包括排气装置) | 0.20 m2 |
重量 | 120 kg |
进气口连接 | ISO 63 |
出气口连接 | NW25 |
极限噪音 | <55 dB(A) |
需要恒流阀附件
GX100L 爱德华半导体干式真空泵订购信息:
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958