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【赫哲真空】选择和安装真空计的注意事项
日期：2026-08-18 02:03
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摘要：
选择和安装真空计时，必须考虑其特性和真空测量的性：
由于真空室中存在潜在的压力梯度，适当选择安装位置。
表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短，且密封件数量减少到。
电离真空计可以具有抽运效应，因此指示的压力低于真空室中的实际压力。
冷阴极真空计具有固有的溅射效应，这在中真空范围内与 重型气体（如氩）一起操作时尤为明显。这可导致不和不准确的读数。
当烃类存在时，电离真空计受到有机分子...
选择和安装真空计时，必须考虑其特性和真空测量的性：
- 由于真空室中存在潜在的压力梯度，适当选择安装位置。
- 表面和密封材料呈现脱气现象。因此真空计可指示的压力高于真空室压力。连接法兰因此应该尽可能的短，且密封件数量减少到。
- 电离真空计可以具有抽运效应，因此指示的压力低于真空室中的实际压力。
- 冷阴极真空计具有固有的溅射效应，这在中真空范围内与 重型气体（如氩）一起操作时尤为明显。这可导致不和不准确的读数。
- 当烃类存在时，电离真空计受到有机分子分解产物的污染。如同溅射效应一样，读数可以被歪曲或不。
- 必须选择电离真空计的开关点，以避免因上述现象导致的污染。
- 强磁场和电场会影响真空计的功能。这尤其适用于电离真空计。
- 为能够产生真空，必须对真空设备，包括真空计进行烘烤。必须遵守数据中规定的大烘烤温度和条件。
如果受到污染，冷阴极真空计可以很容易地拆卸和清洗。使用其他测量原理的，通常可以更换传感器。应该谨记，真空计会受到一定程度的磨损和污染，因此每隔一段时间就需要 更换。由于操作条件范围，因此不可能提供更换间隔的通用建议。
