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- iH系列半导体真空干泵
- iXH系列半导体真空泵
- iXL系列半导体真空干泵
- EPX系列半导体真空干泵
- GX系列半导体干式泵
产品详情
简单介绍:
E2M175 爱德华真空泵系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供的保护。E2M175 爱德华真空泵应用于真空镀膜、真空热处理、真空冷冻干燥行业
详情介绍:
E2M175 爱德华真空泵概述
Edwards E2M175 系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供的保护。
E2M175T4 泵已经过鉴定,可以在 II 3 Gc IIB T4 内部和 II 2 G IIB T4 外部类别的区域中使用。EM 主泵(碳氢化合物油)在提供时具有 ATEX 分类,可能作为泵系统的一部分或是单独提供。请联系 Edwards 以咨询更多详细信息。
E2M175 爱德华真空泵应用
真空冶金加工
薄膜覆层
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统抽空、干燥和回填
变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂
灯具制造
低温容器抽空
化工行业中的真空干燥和蒸馏
半导体设备制造
用于高真空应用的前级泵
E2M175 爱德华真空泵功能和优势
的油压回路可提供的润滑(即使是在高气体负荷下)
当泵关闭时,弹簧式分配阀可提供油和空气反吸保护
气镇控制可帮助处理高水蒸汽负荷
传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承,性极高,使用寿命和无故障工作时间也更长
通过全高度油品观察窗可方便地检查油位和相关情况
较大型号上安装有滤油机状态指示器,方便您更换滤油机
中央进气口方便您在需要时安装机械增压泵
我们提供便捷的维修套件,并为客户提供支持服务,维护简单
提供了附件,可满足您的应用需求
Edwards E2M175 系列双级油封旋转叶片真空泵因其高极限真空、高抽速、运行噪音小以及能够处理水蒸汽而享有盛誉。这些直联式旋片泵设计紧凑且无振动,配备防伤手风扇和联轴器壳体,可为操作人员提供的保护。
E2M175T4 泵已经过鉴定,可以在 II 3 Gc IIB T4 内部和 II 2 G IIB T4 外部类别的区域中使用。EM 主泵(碳氢化合物油)在提供时具有 ATEX 分类,可能作为泵系统的一部分或是单独提供。请联系 Edwards 以咨询更多详细信息。
E2M175 爱德华真空泵应用
真空冶金加工
薄膜覆层
制药冷冻干燥
冷冻和空调系统抽空、干燥和回填
变压器和电缆干燥及浸渍、绝缘油处理工厂
灯具制造
低温容器抽空
化工行业中的真空干燥和蒸馏
半导体设备制造
用于高真空应用的前级泵
E2M175 爱德华真空泵功能和优势
的油压回路可提供的润滑(即使是在高气体负荷下)
当泵关闭时,弹簧式分配阀可提供油和空气反吸保护
气镇控制可帮助处理高水蒸汽负荷
传动轴杆上安装有工业级滚柱轴承,性极高,使用寿命和无故障工作时间也更长
通过全高度油品观察窗可方便地检查油位和相关情况
较大型号上安装有滤油机状态指示器,方便您更换滤油机
中央进气口方便您在需要时安装机械增压泵
我们提供便捷的维修套件,并为客户提供支持服务,维护简单
提供了附件,可满足您的应用需求
泵和附件可以作为单个部件提供,也可以作为完整系统化、经过出厂测试的组合提供
E2M175 爱德华真空泵数据
容积 |
|
50Hz | 178 m3h-1/105 ft3min-1 |
60Hz | 214 m3h-1/126 ft3min-1 |
速度 (Pneurop) |
|
50Hz | 160 m3h-1/94 ft3min-1 |
60Hz | 196 m3h-1/115 ft3min-1 |
级数 | 2 |
极限真空(总压力) |
|
不带气囊 | 1 x 10-3 mbar/7.7 x 10-4 Torr |
带气囊 | 7 x 10-3 mbar/5.4 x 10-3 Torr |
极限(带 Fomblin®) |
|
不带气囊 | 1 x 10-2 mbar |
入口连接 | 带密封件的 ISO63 盲法兰 |
连接 | 中心分接的 ISO40 法兰 |
大压力 | 0.5 bar 压力表压力 |
水蒸汽的大入口压力 | 20 mbar/15 Torr |
大水蒸汽抽取速度 | 0.3 kg h-1/0.7 lb h-1 |
重量 | 230 kg/508 lb |
马达保护额定值 | IP55 |
马达功率 |
|
50Hz | 5.5kW/7.5hp |
60Hz | 6.5kW/8.5hp |
标准油容量 |
|
大 | 25 升 |
16 升 | |
PFPE 油容量 |
|
大 | 18 升 |
6.5 升 | |
用油 | Ultragrade 70 |
噪声级别 | 75 dB (A) |
水冷却要求 | 1.3 lmin-1 |
E2M175 爱德华真空泵购买信息
A36601000 E2M175 Outfit Less Motor
A36601934 E2M175 200/380V 3 ph 50/60Hz
A36604940 E2M175 HC IE3 EU/US 50/60HZ
A36604934 E2M175 HC IE3 ASIA 50/60HZ
A36607940 E2M175 AZ IE3 EU/US 50/60HZ
A36607934 E2M175 AZ IE3 ASIA 50/60HZ
A36617940 E2M175 FX IE3 EU/US 50/60HZ
A36617934 E2M175 FX IE3 ASIA 50/60HZ
A36618993 E2M175T3 220-240V or 380-415V 50Hz 3Ø