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  • 产品名称:STP-L301C ISO100 爱德华超高真空涡轮分子泵

  • 产品型号:STP-L301C
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
STP-L301C ISO100 爱德华超高真空涡轮分子泵为Edwards 的防腐蚀 STP-L301(C) 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards 的转子技术可实现上等的性能,*大的制程灵活性。 STP-L301C ISO100 爱德华超高真空涡轮分子泵已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。
详情介绍:
概述
Edwards 的防腐蚀 STP-L301(C) 用于电子显微镜和半导体应用。Edwards的转子技术可实现上等的性能,*大的制程灵活性。 
STP-L301(C) 已经由科学仪器、半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。

应用
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理:射束线、加速器
放射线应用:融合系统、回旋

功能和优势
先进的转子技术  
*大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
先进的控制器设计  
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计  
占地面积小
半机架控制器
低振动  
内置振动隔离系统提供了优于 STP301C 和外部隔离器的性能。


技术数据

入口法兰 ISO100,CF100
出口 KF25
吹扫口 KF10
抽速
  N2 260 ls-1
  H2 290 ls-1
压缩比
  N2 >108
  He 5 x 105
  H2 2 x 104
加热时的极限压力(VG/ISO 法兰) 6.5 x 10-6 Pa

(5 x 10-8 Torr)
加热时的极限压力(ICF 法兰) 10-8 Pa

(10-10 Torr)
*大允许进气口压力(环境空气冷却) 6.7 x 10-2 Pa

(5 x 10-4 Torr)
*大连续出口压力(环境空气冷却) 13 Pa

(0.1 Torr)
额定速度 48000 rpm
启动时间 3 min
*高入口法兰温度 120 °C
输入电压 100 至 120 (± 10) V 交流或

200 至 240 (± 10) V 交流
启动时的功耗 0.55 kVA
泵重量 13 kg
控制器重量 7 kg

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