产品详情
简单介绍：
STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。
STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵具有很宽的制程范围（从高真空到高流量要求），对气体都具有更高的吞吐量。
详情介绍：
製品概要
STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围（从高真空到高流量要求），对气体都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。
它设计成既可以处理温和的应用，也可以处理严苛的应用，例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和优势
的转子设计
改进的氩气性能
同类产品中抽速高
宽的制程范围
在较低压力下具有较高的吞吐量
免维护
可用于严苛制程
5 轴磁悬浮系统
无污染
低振动
高度
经优化的温度分配
低沉积
内置冷却机械装置
更高的气体吞吐量
使用寿命延长
符合标准
STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围（从高真空到高流量要求），对气体都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的设计，提供功能以改善热管理，从而增强在严苛制程中的性能，提高大制程流能力，并减少腐蚀和沉积的影响。
它设计成既可以处理温和的应用，也可以处理严苛的应用，例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和优势
的转子设计
改进的氩气性能
同类产品中抽速高
宽的制程范围
在较低压力下具有较高的吞吐量
免维护
可用于严苛制程
5 轴磁悬浮系统
无污染
低振动
高度
经优化的温度分配
低沉积
内置冷却机械装置
更高的气体吞吐量
使用寿命延长
符合标准
列于 UL 中，具有 CE 标记，符合 SEMI® S2
数据
| 入口法兰尺寸 | VF300、ISO320F、VG350 |
| 前级抽气口尺寸 | KF40 |
| 抽速 |
|
| N2 | 3800 至 4300 ls-1 |
|
|
（取决于具体型号） |
| H2 | 2500 ls-1 |
| 压缩比 |
|
| N2 | >108 |
| H2 | 6 x 103 |
| 极限压力 | 10-7 Pa / 10-9 mbar |
| 大允许前级压力 | 266 Pa / 2.66 mbar |
|
大允许气体流量 N2 （仅水冷却） |
2800 sccm |
|
|
4.73 Pam3s-1 |
|
大允许气体流量 Ar （仅水冷却） |
2150 sccm |
|
|
3.63 Pam3s-1 |
| 额定速度 | 24000 rpm |
| 运转到 90% 额定速度的时间 | 12 分钟 |
| 固定位置 | 任何方向 |
| 水冷却 |
|
| 流量 | 3 lmin-1 |
| 温度 | 5 – 25 °C / 41 – 77 °F |
| 压力 | 0.3 MPa |
| 的吹扫气体流量 N2 | 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1 |
| 输入电压 | 200 – 240 ±10 % V 交流 |
| 大输入功率（不带 TMS） | 1.5 KVA |
