产品详情
  • 产品名称:STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵

  • 产品型号:STPA2203C
  • 产品厂商:Edwards
  • 产品文档:
你添加了1件商品 查看购物车
简单介绍:
STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵是为半导体应用而设计的新型涡轮分子泵 STPA2203C Edwards磁悬浮涡轮分子泵它使用先进的转子技术,可实现上等的性能,*大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,而且采用直流驱动技术,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了认可。
详情介绍:
概述
Edwards STPA2203C 是为半导体应用而设计的新型涡轮分子泵。它使用先进的转子技术,可实现上等的性能,*大的制程灵活性。全新的半机架控制器能够节省更多空间,而且采用直流驱动技术,无需电池即可运行。STPA2203C 已经由半导体和磁介质行业的大型刻蚀、离子注入和沉积设备制造商投入使用,并得到了认可。

应用
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理:射束线、加速器
放射线应用:融合系统、回旋

功能和优势
先进的转子设计  
更高的气体吞吐量
*大的制程灵活性
5 轴磁悬浮系统  
无污染
少维护
防腐蚀  
可用于严苛制程
使用寿命延长
紧凑型设计  
占地面积小
半机架控制器
先进的控制器设计  
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动

无电池运行


技术数据

入口法兰 ISO250F
出口 KF40
吹扫口 KF10
水冷却接头 PT1/4
抽速
  N2 2200 ls-1
  H2 1700 ls-1
压缩比
  N2 >108
  H2 >2.5 x 104
极限压力 10-6 Pa

(10-8 Torr)
允许的*大前级压力 400 Pa

(3 Torr)
*大氮气吞吐量 1500 sccm
额定速度 27000 rpm
启动时间 7 分钟
固定位置 任意
水冷却流量 2 lmin-1
水冷却温度 5-25 °C
压力 0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量 20 sccm
输入电压 200 至 240 (± 10) V 交流
功耗 1.5 kVA
泵重量 61 kg
控制器重量 12 kg


标题:
内容:
联系人:
联系电话:
Email:
公司名称:
联系地址:
 
 
注:1.可以使用快捷键Alt+S或Ctrl+Enter发送信息!
2.如有必要,请您留下您的详细联系方式!

沪公网安备 31011702004253号