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  • 产品名称:iH1000 Edwards半导体干式真空泵

  • 产品型号:iH1000
  • 产品厂商:Edwards
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简单介绍:
iH1000 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。 iH1000 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍:


iH1000 Edwards半导体干式真空泵概述

Edwards 上等半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照*高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时*大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的可靠性和性能。
iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高可靠性。

iH1000 Edwards半导体干式真空泵应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。


iH1000 Edwards半导体干式真空泵功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和特殊的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时*大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的**保证。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。


iH1000 Edwards半导体干式真空泵技术数据

峰值速度 1000 m3h-1
589 cfm
16670 l min-1
极限真空 1 x 10-3 mbar
7.5 x 10-4 Torr
0.1 Pa
典型轴封氮流量 4 slm
进气口连接 ISO100
出口连接 NW40
15 psi 压降下典型冷却水流量 240 l h-1
4 l min-1
重量 430 kg
极限功率输入 3.8 kW
电机额定功率 6.1 kW
油容量 1.48 l

所有数字均为无气镇时的典型值。


iH1000 Edwards半导体干式真空泵订购信息

iH1000 干式泵 460V,60 Hz,3 相        A59030908 
iH1000 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相 A59030945
iH1000 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相    A59030946
iH1000 干式泵 230V,60 Hz,3 相        A59030957



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