产品
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- iH系列半导体真空干泵
- iXH系列半导体真空泵
- iXL系列半导体真空干泵
- EPX系列半导体真空干泵
- GX系列半导体干式泵
产品详情
简单介绍:
上海赫哲真空设备有限公司为您提供高性能 APG200 - XLC - NW25 皮拉尼真空计(型号:D1G2021100),爱德华兹的新型AP200系列高性能紧溱型皮拉尼乐力计是适用于各类应用的理想真空测量解决方案,其小巧的尺寸、LED灯环、集成的设定点以及灵活的连接/輸出功能使其优势尽显。本产品采用先进的皮拉尼(Pirani)传感技术,结合增强型结构设计,适用于中高真空范围的可靠监测,具有突出的稳定性、快速响应及长寿命特性,是半导体制造、真空镀膜、科研实验等领域的理想选择。
详情介绍:
核心优势
✅ 宽量程高精度:精准测量 10^-4 至 1100 mbar 真空压力,覆盖中低至高真空过渡区间。
✅ 工业级耐用性:XLC系列强化外壳设计,抗振动、防腐蚀,适应复杂工况(如高温、粉尘环境)。
✅ 快速动态响应:优化热传导结构,实时反馈压力变化,提升工艺控制效率。
✅ 大通量接口:标配 NW25 (KF25) 法兰,兼容大抽速真空系统,减少流阻影响。
✅ 智能信号输出:支持模拟(0-10V/4-20mA)及数字通信(RS485/Modbus可选),无缝对接PLC/SCADA系统。
应用场景
🔹 半导体设备:刻蚀、CVD/PVD腔室压力监控
🔹 真空镀膜:光学镀膜、装饰镀膜工艺控制
🔹 加速器与科研:同步辐射、粒子实验真空系统
🔹 新能源制造:锂电干燥、光伏组件封装
🔹 工业真空炉:钎焊、烧结过程压力监测


✅ 宽量程高精度:精准测量 10^-4 至 1100 mbar 真空压力,覆盖中低至高真空过渡区间。
✅ 工业级耐用性:XLC系列强化外壳设计,抗振动、防腐蚀,适应复杂工况(如高温、粉尘环境)。
✅ 快速动态响应:优化热传导结构,实时反馈压力变化,提升工艺控制效率。
✅ 大通量接口:标配 NW25 (KF25) 法兰,兼容大抽速真空系统,减少流阻影响。
✅ 智能信号输出:支持模拟(0-10V/4-20mA)及数字通信(RS485/Modbus可选),无缝对接PLC/SCADA系统。
🔹 半导体设备:刻蚀、CVD/PVD腔室压力监控
🔹 真空镀膜:光学镀膜、装饰镀膜工艺控制
🔹 加速器与科研:同步辐射、粒子实验真空系统
🔹 新能源制造:锂电干燥、光伏组件封装
🔹 工业真空炉:钎焊、烧结过程压力监测
参数:



系列产品:
Short Description | Part Number | Connection Inlet Flange |
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D1G1011100 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G1011150 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G1011200 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G1021100 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G1021150 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G1021200 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G105123C | 1/8" NPT Female |
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D1G1091100 | DN 16 CF (1.33") |
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D1G1211100 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G1211200 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G1221100 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G1221200 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G1291100 | DN 16 CF (1.33") |
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D1G2011100 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G2011200 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G2021100 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G2021150 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G2021200 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G2091100 | DN 16 CF (1.33") |
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D1G2211100 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G2211200 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G2221100 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G2221200 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G2271200 | 8" VCR Female |
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D1G2281100 | bare tube ( 1/2" OD Tube) |
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D1G2281200 | bare tube ( 1/2" OD Tube) |
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D1G2291100 | DN 16 CF (1.33") |
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D1G2291200 | DN 16 CF (1.33") |
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D1G3011100 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G3011150 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G3021100 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G3021150 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G3051100 | 1/8" NPT Female |
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D1G3061100 | 4" VCR Female |
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D1G3071100 | 8" VCR Female |
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D1G307110C | 8" VCR Female |
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D1G3081100 | bare tube ( 1/2" OD Tube) |
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D1G3091100 | DN 16 CF (1.33") |
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D1G3091150 | DN 16 CF (1.33") |
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D1G3211100 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G3211200 | DN 16 ISO-KF (NW16) |
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D1G3221100 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G3221200 | DN 25 ISO-KF (NW25) |
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D1G3251100 | 1/8" NPT Female |
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D1G3251200 | 1/8" NPT Female |
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D1G3261100 | 4" VCR Female |
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D1G3261200 | 4" VCR Female |
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D1G3271100 | 8" VCR Female |
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D1G327113C | 8" VCR Female |
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D1G3271200 | 8" VCR Female |
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D1G3281100 | bare tube ( 1/2" OD Tube) |
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D1G3281200 | bare tube ( 1/2" OD Tube) |
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D1G3291100 | DN 16 CF (1.33") |
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D1G3291200 | DN 16 CF (1.33") |