产品详情
简单介绍：
Barocel 7025m（W601121230）属于爱德华7000系列经济型电容压力计，采用氧化铝陶瓷传感膜片，具备耐腐蚀、零点长期稳定特性；满量程1100mbar，适配常压至粗真空区间精准测压。真空端采用8VCR全金属密封接头，电气端为标准9PIN D-Sub接口，内置数字处理电路与双路设定点继电器，自带温度补偿，无需额外配套控制器，可直接对接TIC系列真空仪表、PLC工控系统，适合各类工艺腔体高精度压力监测场景。
详情介绍：
主要作用
1. 真空腔体、传输仓压力高精度实时采集，不受气体种类干扰
2. 半导体镀膜、刻蚀、Load-lock腔体工艺压力闭环管控
3. 设备抽空终点判定、压力阈值联锁报警、腔体保压检漏验证
4. 工艺压力数据记录、设备出厂真空精度标定、实验室标准压力参考
5. 高洁净、无渗漏要求的金属密封管路压力长期稳定监测
适用场景
半导体沉积/刻蚀设备、光学PVD/CVD镀膜机、真空负载锁腔体、热处理真空炉、科研精密实验腔体、检漏系统、制药真空工艺、各类需要高精度压力测量的粗真空设备。
