产品详情
简单介绍：
爱德华7000系列标准款电容压力计，采用氧化铝陶瓷传感膜片，自带全域温度补偿电路，测量结果不受气体种类影响。量程覆盖0~10Torr区间，适配中真空高精度压力采集；真空端配置8VCR全金属密封接头，电气端为9PIN标准接头，集成模拟信号输出与两路设定点继电器，可搭配TIC系列控制器、PLC工控设备配套使用，适配洁净、轻微腐蚀类工艺腔体长期监测需求。
详情介绍：
主要作用
1. 真空腔体、传输仓压力稳定采集，规避气体介质带来的测量偏差
2. 半导体镀膜、刻蚀、负载锁腔体工艺压力管控，辅助闭环流程控制
3. 腔体抽空终点判断、压力阈值联锁、保压检漏验证
4. 工艺压力数据留存、设备校准参照、实验室标准压力监测
5. 金属密封管路、无橡胶污染要求的真空系统长期压力监测
适用场景
半导体沉积、刻蚀设备，光学PVD/CVD镀膜设备，真空负载锁腔体，科研精密实验腔体，真空热处理炉，检漏配套系统，制药真空工艺等需要中真空高精度压力监测的工况。
