产品详情
简单介绍：
本款为爱德华APG200系列有源皮拉尼真空计，GMPS代表带前置过滤结构的标准钨铼灯丝版本，适配常规无强腐蚀工艺环境；真空接口采用4VCR全金属密封接头，电气端为DB9九针接口，出厂附带原厂校准证书，量值可溯源。整机集成传感与驱动电路，无需配套外置驱动模块，测量区间覆盖常压至5×10⁻⁴ mbar粗、中真空，可独立完成压力采集、阈值联锁，适配高洁净、低泄漏要求的真空管路配套使用。
详情介绍：
主要作用
1. 粗、中真空腔体实时压力采集，为工艺运行提供稳定压力数据
2. 镀膜、负载锁、小型热处理腔体抽空终点判定与压力管控
3. 腔体保压检漏、压力阈值报警、泵阀联动联锁保护
4. 实验室、分析设备真空工况记录与定期精度校验
5. 金属密封管路、无橡胶析出需求的洁净真空系统长期监测
适用场景
光学镀膜设备、小型半导体负载锁腔体、科研实验室真空装置、分析仪器、真空热处理炉、制药真空制程、各类采用VCR金属密封管路的粗中真空监测场景。
