产品详情
简单介绍：
一体化有源宽量程真空测量设备，集成皮拉尼+倒置磁控管冷阴极双传感结构，单台设备覆盖常压至1×10⁻⁹ mbar全区间真空监测。XS标准配置，搭配NW25（DN25 ISO-KF）快拆法兰，搭载RJ45电气接口，内置驱动电路无需外置控制器，机身结构紧凑，自带360°环形LED状态指示灯，支持一键大气校准、压力阈值设定与故障自检，适配工业、科研各类高低真空一体化监测场景。
详情介绍：
产品作用
1. 真空腔体全程抽空压力连续监测，覆盖粗真空、中真空、高真空全阶段
2. 镀膜、半导体、质谱、电镜等设备工艺压力管控与抽空终点判定
3. 腔体保压检漏、压力阈值联锁报警，联动泵阀实现设备保护
4. 科研精密腔体、分析仪器真空工况数据采集、工艺参数留存追溯
5. 替代多支单量程真空规，简化真空管路布局，减少设备装配配件
适用场景
半导体沉积/刻蚀设备、光学PVD/CVD真空镀膜、电子显微镜、质谱分析仪器、科研超高真空实验腔体、真空热处理炉、检漏系统、各类需要单规覆盖全真空区间的工业设备。
