产品详情
简单介绍：
本款为爱德华APG200系列有源皮拉尼真空计，XMPS采用钨铼标准灯丝搭配内置前置过滤结构、集成两路设定点继电器，适配常规中性工艺气体工况；真空端为8VCR全金属密封接头，密封性能稳定、可反复拆装，适配高纯洁净管路；电气端配备DB9九针D-Sub接口，整机集成传感与驱动电路，无需外置驱动模块，测量区间覆盖常压至5×10⁻⁴ mbar粗、中真空，机身紧凑小巧，可对接TIC/ADC系列真空控制器、PLC工控系统完成压力监测、阈值联锁与工艺管控，无配套原厂校准证书。
详情介绍：
产品作用
1. 洁净真空管路、工艺腔体实时压力采集，输出0-10V稳定模拟线性信号，支撑工艺参数管控
2. 常规气体工况下腔体抽空终点判定、保压检漏，核验腔体密封状态
3. 设定压力阈值报警、联动泵阀完成联锁保护，降低系统异常运行风险
4. 半导体、光学镀膜、科研实验装置制程数据留存记录，满足工艺追溯需求
5. 实验室日常点检、配套机组监测，适配洁净真空设备集成使用
适用场景
半导体制程洁净管路、光学真空镀膜设备、中小型热处理真空炉、高校科研精密实验腔体、分析仪器高纯管路、制药常规真空制程，以及采用8VCR金属密封管路、DB9电气接线的粗中真空监测场景
