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B90000200 BGV手动真空插板阀 ISO63

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  • 产品名称:B90000200 BGV手动真空插板阀 ISO63
  • 产品型号:B90000200
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

B90000200 BGV手动真空插板阀 ISO63 B90000200 BGV手动真空插板阀 ISO63

产品描述
概述
BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成,用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的,可以使泵在前级管线维护期间继续运行,从而使在严苛制程中运行的泵具有*高的可靠性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar(优良)(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的优良压力,并可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。

虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵,但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。

功能和优势
与世界密封技术先驱 VAT 合作开发。
不锈钢结构,采用获得砖利的可靠设计,使用寿命长
简单的无油脂机构*大程度减少了多尘制程中因微粒导致的损坏
可以在 1 bar 差压下运行,因此无需进行压力平衡
维修方便,只需要廉价的易耗品,低运行成本
表面光滑,易于清洁
提供时已安装螺线管和电线,便于订购和安装

即插即用,在使用可选的 BGV TIM 接口电缆的情况下与 Edwards 半导体干泵兼容。


技术数据

泄漏值
  壳体 < 1 x 10-9 mbar ls-1
  阀座 < 1 x 10-7 mbar ls-1
压力范围 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara
插板上的压差 1.2 bar(在任一方向上)
打开时的压差 1 bar
首次检修前的循环数 5, 000
*大工作温度
  阀体 120 °C
  手动执行器 80 °C
  气动执行器 80 °C
  位置指示器 60 °C
  螺线管阀 50 °C
分子流电导
  NW50 300 ls-1
  ISO63 400 ls-1
  ISO80 1100 ls-1
  ISO100 1700 ls-1
  ISO160 4600 ls-1
重量
  NW50 3.3 kg (7.3 lbs)
  ISO63 6.6 kg (14.6 lbs)
  ISO80 7.0 kg (15.4 lbs)
  ISO100 8.5 kg (18.7 lbs)
  ISO160 17.7 kg (39.0 lbs)
构造材料:
  壳体 AISI 304 不锈钢
  阀盖 黑色阳极化铝
  插板 AISI 304 不锈钢
  助滑器 PEEK
  波纹管 AISI 633 不锈钢
  密封件 氟橡胶
  插板固定螺钉 A2 不锈钢 Ni-teflon 镀膜
  手柄 强化聚酰胺
手动阀
进行开/关操作的手柄转动方式
NW50 22
ISO63 27
ISO80 33
ISO100 39
ISO160 41



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