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产品详情
简单介绍:
B90000200 BGV手动真空插板阀 ISO63
B90000200 BGV手动真空插板阀 ISO63
详情介绍:
概述
BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成,用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的,可以使泵在前级管线维护期间继续运行,从而使在严苛制程中运行的泵具有高的性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar()(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的压力,并可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。
虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵,但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。
功能和优势
与密封先驱 VAT 合作。
不锈钢结构,采用获得的设计,使用
简单的无油脂机构大程度减少了多尘制程中因微粒导致的损坏
可以在 1 bar 差压下运行,因此无需进行压力平衡
维修方便,只需要的易耗品,低运行成本
表面光滑,易于清洁
提供时已安装螺线管和电线,便于订购和安装
BGV 地下室插板阀是一系列由不锈钢制成,用波纹管密封的地下室隔离阀。它们是与 VAT 协作设计的,可以使泵在前级管线维护期间继续运行,从而使在严苛制程中运行的泵具有高的性和正常运行时间。BGV 阀适用于 1 x 10-9 mbar 到 1.2 bar()(1 x 10-7 到 1.2 x 105 Pa) 的工作压力范围。这种阀在任何方向都可以承受 1.2 bar 的压力,并可承受阀密封两侧 1 bar 的差压。
虽然 BGV 阀主要用于隔离半导体工厂地下室内的泵,但这些阀也适用于开启时需要 1 bar 差压并容许 20000 次循环的其他应用场合。
功能和优势
与密封先驱 VAT 合作。
不锈钢结构,采用获得的设计,使用
简单的无油脂机构大程度减少了多尘制程中因微粒导致的损坏
可以在 1 bar 差压下运行,因此无需进行压力平衡
维修方便,只需要的易耗品,低运行成本
表面光滑,易于清洁
提供时已安装螺线管和电线,便于订购和安装
即插即用,在使用可选的 BGV TIM 接口电缆的情况下与 Edwards 半导体干泵兼容。
数据
泄漏值 |
|
壳体 | < 1 x 10-9 mbar ls-1 |
阀座 | < 1 x 10-7 mbar ls-1 |
压力范围 | 1 x 10-9 mbar 至 1.2 bara |
插板上的压差 | 1.2 bar(在任一方向上) |
打开时的压差 | 1 bar |
**检修前的循环数 | 5, 000 |
大工作温度 |
|
阀体 | 120 °C |
手动执行器 | 80 °C |
气动执行器 | 80 °C |
位置指示器 | 60 °C |
螺线管阀 | 50 °C |
分子流电导 |
|
NW50 | 300 ls-1 |
ISO63 | 400 ls-1 |
ISO80 | 1100 ls-1 |
ISO100 | 1700 ls-1 |
ISO160 | 4600 ls-1 |
重量 |
|
NW50 | 3.3 kg (7.3 lbs) |
ISO63 | 6.6 kg (14.6 lbs) |
ISO80 | 7.0 kg (15.4 lbs) |
ISO100 | 8.5 kg (18.7 lbs) |
ISO160 | 17.7 kg (39.0 lbs) |
构造材料: |
|
壳体 | AISI 304 不锈钢 |
阀盖 | 黑色阳极化铝 |
插板 | AISI 304 不锈钢 |
助滑器 | PEEK |
波纹管 | AISI 633 不锈钢 |
密封件 | 氟橡胶 |
插板固定螺钉 | A2 不锈钢 Ni-teflon 镀膜 |
手柄 | 强化聚酰胺 |
手动阀 |
|
进行开/关操作的手柄转动方式 |
|
NW50 | 22 |
ISO63 | 27 |
ISO80 | 33 |
ISO100 | 39 |
ISO160 | 41 |