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STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵

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  • 产品名称:STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵
  • 产品型号:STP-iXA2206C
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵为磁悬浮涡轮分子泵可提供业内**的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STP-iXA2205 系列的*新技术)。 STP-iXA2206C ISO250F 爱德华涡轮分子泵该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。

产品描述
概要
STP-iXA2206 系列磁悬浮涡轮分子泵可提供业内**的性能,可将小型电源供给集成到机载控制器内(成熟的 STP-iXA2205 系列的*新技术)。 该泵的高度等于 STP-A2203C 的高度,也等于 STP-iXA2205 系列(不带其电源供给 (iPS-1200))的高度。 这一完全集成的产品易于安装且占地面积小,可作为所有应用工具的一体化解决方案。

用途
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送和站

特性与优势
紧凑型设计,包括完全集成的控制器
**性自传感磁力轴承系统
数字化 5 轴控制
与现有涡轮泵相比振动级别降低了 50%
可以配置为运行腐蚀性制程


技术数据

入口法兰尺寸 ISO250F/VG250/ICF305
前级抽气口尺寸 KF40
抽速 N2/Ar 2200/1900 ls-1
压缩比 N2/H2 >108 / 1 x 104
极限压力 10-7 Pa (10-9 Torr)
允许的前级压力 266  Pa (2 Torr)
*大气流 N2 *(仅水冷) 3000 sccm

(5.07 Pam3s-1)
*大气流 Ar *(仅水冷) 1400 sccm

(2.36 Pam3s-1)
额定速度 27000 rpm
运转到 90% 额定速度的时间 <8 分钟
固定位置 任何方向
输入电压 200-240 V
*大输入功率(不带 TMS) 1200 VA
重量 62 kg

* *大气流适用于在 15-25 °C 之间的水冷却温度下连续泵送 N2 或 Ar 气体,并且使用前级泵(10,000 l/min 大小)的情况。 它会随条件变化而变化。

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