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STP-XA2703C VG250 爱德华超高真空磁悬浮涡轮分子泵

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  • 产品型号:STP-XA2703C
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

STP-XA2703C VG250 爱德华超高真空磁悬浮涡轮分子泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能,并提高所有气体的吞吐量。 STP-XA2703C VG250 爱德华超高真空磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的平台设计,提供各种功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高*大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。

产品描述
概述
STP-XA2703C 涡轮泵为高真空到 2300 sccm 制程流的制程范围内提供高性能,并提高所有气体的吞吐量。 
此泵基于新的平台设计,提供各种功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高*大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。 
其出色的性能既适用于温和的应用环境,也适用于严苛的环境,例如半导体刻蚀、注入、光刻和 LCD 制程。

应用
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理:射束线、加速器

放射线应用:融合系统、回旋


功能和优势
先进的转子设计  
增强的 H2、N2 和 Ar 性能
改进了在高真空到 2300 sccm 制程压力范围内的性能
免维护
5 轴磁悬浮系统  
无污染
低振动
**性转矩管理  
获得砖利的转矩减少机械装置
优化的温度管理系统  
高温 TMS 能力
低沉积
内置冷却机械装置
更高的气体吞吐量(加热和未加热)
延长寿命
可用于严苛制程
认证  
符合 SEMI®,具有 CE 标记,列于 UL 中

技术数据

入口法兰 VG250
抽速
  N2 2650 ls-1
  H2 2050 ls-1
压缩比
  N2 >108
  H2 >6 x 103
极限压力 10-7 Pa
*大允许前级压力 266 Pa
*大允许气体流量
N2(水冷却) 2300 sccm

(3.8 Pam3s-1)
Ar(水冷却) 1900 sccm

(3.2 Pam3s-1)
额定速度 27500 rpm
启动时间 8 min
固定位置 任何方向
水冷却流量 3 lmin-1
水冷却温度 5-25 °C (41-77 °F)
压力 0.3 MPa
推荐的吹扫气体流量 50 sccm (8.4 x 10-2 Pam3s-1)
输入电压 200 至 240 V 交流(± 10)
功耗 1.5 kVA
泵重量 75 kg (165 lb)
控制器重量 12 kg (26.4 lb)

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