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产品详情
简单介绍:
STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵此泵基于新的设计,提供功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。
STP-XA4503C 爱德华磁悬浮涡轮分子泵具有很宽的制程范围(从高真空到高流量要求),对气体都具有更高的吞吐量。
详情介绍:
製品概要
STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围(从高真空到高流量要求),对气体都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的设计,提供功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。
它设计成既可以处理温和的应用,也可以处理严苛的应用,例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和优势
的转子设计
改进的氩气性能
同类产品中抽速高
宽的制程范围
在较低压力下具有较高的吞吐量
免维护
可用于严苛制程
5 轴磁悬浮系统
无污染
低振动
高度
经优化的温度分配
低沉积
内置冷却机械装置
更高的气体吞吐量
使用寿命延长
符合标准
STP-XA4503C 磁力轴承涡轮分子泵具有很宽的制程范围(从高真空到高流量要求),对气体都具有更高的吞吐量。
此泵基于新的设计,提供功能以改善热管理,从而增强在严苛制程中的性能,提高大制程流能力,并减少腐蚀和沉积的影响。
它设计成既可以处理温和的应用,也可以处理严苛的应用,例如刻蚀、注入、光刻和 FPD 制程。
功能和优势
的转子设计
改进的氩气性能
同类产品中抽速高
宽的制程范围
在较低压力下具有较高的吞吐量
免维护
可用于严苛制程
5 轴磁悬浮系统
无污染
低振动
高度
经优化的温度分配
低沉积
内置冷却机械装置
更高的气体吞吐量
使用寿命延长
符合标准
列于 UL 中,具有 CE 标记,符合 SEMI® S2
数据
入口法兰尺寸 | VF300、ISO320F、VG350 |
前级抽气口尺寸 | KF40 |
抽速 |
|
N2 | 3800 至 4300 ls-1 |
|
(取决于具体型号) |
H2 | 2500 ls-1 |
压缩比 |
|
N2 | >108 |
H2 | 6 x 103 |
极限压力 | 10-7 Pa / 10-9 mbar |
大允许前级压力 | 266 Pa / 2.66 mbar |
大允许气体流量 N2 (仅水冷却) |
2800 sccm |
|
4.73 Pam3s-1 |
大允许气体流量 Ar (仅水冷却) |
2150 sccm |
|
3.63 Pam3s-1 |
额定速度 | 24000 rpm |
运转到 90% 额定速度的时间 | 12 分钟 |
固定位置 | 任何方向 |
水冷却 |
|
流量 | 3 lmin-1 |
温度 | 5 – 25 °C / 41 – 77 °F |
压力 | 0.3 MPa |
的吹扫气体流量 N2 | 50 sccm/8.4 x 10-2 Pam3s-1 |
输入电压 | 200 – 240 ±10 % V 交流 |
大输入功率(不带 TMS) | 1.5 KVA |