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STPA1303C Edwards涡轮分子泵

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  • 产品名称:STPA1303C Edwards涡轮分子泵
  • 产品型号:STPA1303C
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

STPA1303C Edwards涡轮分子泵是为半导体应用而设计的磁悬浮涡轮分子泵。 STPA1303C Edwards涡轮分子泵是Edwards 的先进转子技术可实现上等的性能和*大的制程灵活性。STPA1303C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。

产品描述
概述
Edwards STPA1303C 是为半导体应用而设计的涡轮分子泵。Edwards 的先进转子技术可实现上等的性能和*大的制程灵活性。STPA1303C 已经由半导体和磁介质行业的大型设备制造商投入使用,并得到了认可。

应用
金属(铝)、钨和电介质(氧化物)以及多晶硅等离子刻蚀(氯化物、氟化物和溴化物)
电子回旋共振 (ECR) 刻蚀
薄膜沉积 CVD、PECVD、ECRCVD、MOCVD
溅射
离子注入源,射束线泵送端点站
MBE
扩散
光致抗蚀剂脱模
晶体/晶膜生长
晶片检查
负载锁真空腔
科学仪器:表面分析、质谱分析、电子显微镜
高能物理:射束线、加速器
放射线应用:融合系统、回旋

功能和优势
先进的转子技术  
更高的气体吞吐量
*大的制程灵活性
无油
低振动
高度可靠
免维护
可用于严苛制程
使用寿命延长
先进的控制器设计  
自动调整
自行诊断功能
直流电机驱动
无电池运行
紧凑型设计  
占地面积小

半机架控制器


技术数据

入口法兰 ISO200F
出口 KF40
吹扫口 KF10
水冷却接头 PT1/4
抽速
  N2 1300 ls-1
  H2 800 ls-1
压缩比
  N2 >108
  H2 103
加热时的极限压力 10-7 Pa

(10-9 Torr)
*大连续出口压力* 270 Pa

(2 Torr)
*大氮气吞吐量* 1500 sccm
额定速度 32500 rpm
启动时间 7 分钟
*高入口法兰温度 120 °C
输入电压 200 至 240 (± 10) V 交流
功耗 0.85 kVA
泵重量 39 kg
控制器重量 9 kg

* 水冷却

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