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产品详情
简单介绍:
SCU-XL800 涡轮分子泵控制器数字化的 SCU-XL800 涡轮泵控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。
SCU-XL800 涡轮分子泵控制器可降低 300 Hz 以下的振动级,这种级别的振动使用机械隔振器很难消除。
详情介绍:
概述
数字化的 SCU-XL800 涡轮泵控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。
SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振动级,这种级别的振动使用机械隔振器很难消除。
它使用数字信号处理器 (DSP) ,可在整个频谱范围内实现亚毫微米的振动级。此控制器适用于电子显微镜检查、度量学和光刻系统,在这些系统中,低的振动对于应用至关重要。
功能和优势
提高了 STP 泵系列的性能
磁力轴承系统可在整个频谱范围内实现亚毫微米级振动
降低了低频振动幅度,这种级别的振动使用机械隔振器很难消除
自动平衡系统 (ABS)
自动减振 (AVR)
兼容的型号
STP-603/1003、STP-A803/A1303C
自动识别适用的泵
预维护功能
的维护定时
双级警告信息
转子不平衡监控
后备轴承损坏监控
自行诊断功能
数字化的 SCU-XL800 涡轮泵控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。
SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振动级,这种级别的振动使用机械隔振器很难消除。
它使用数字信号处理器 (DSP) ,可在整个频谱范围内实现亚毫微米的振动级。此控制器适用于电子显微镜检查、度量学和光刻系统,在这些系统中,低的振动对于应用至关重要。
功能和优势
提高了 STP 泵系列的性能
磁力轴承系统可在整个频谱范围内实现亚毫微米级振动
降低了低频振动幅度,这种级别的振动使用机械隔振器很难消除
自动平衡系统 (ABS)
自动减振 (AVR)
兼容的型号
STP-603/1003、STP-A803/A1303C
自动识别适用的泵
预维护功能
的维护定时
双级警告信息
转子不平衡监控
后备轴承损坏监控
自行诊断功能
符合 SEMI®,具有 CE 标记,列于 UL 中
数据
输入电压 | 100-120V±10%,VAC |
200-240V ±10% VAC | |
输入电源 | 大 850 VA |
输入频率 | 50/60 ±2 Hz |
输入相位 | 单相 |
主断路器 | 15 A |
正常速度下的输出电压 | 大 80 VAC |
正常速度下的输出频率 | 大 800 Hz |
允许的环境温度 | °C (°F) |
存储温度 | °C (°F) |
重量 | Kg (lb) |
时间显示功能 | 内部 |
通信接口 | RS232C/RS485/ |
I/O 远程 | |
监视功能 | 可选附件: |
STP-Link 监视软件 | |
STP-603/1003 系列 |