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SCU-XL800 涡轮分子泵控制器

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  • 产品名称:SCU-XL800 涡轮分子泵控制器
  • 产品型号:SCU-XL800
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

SCU-XL800 涡轮分子泵控制器完全数字化的 SCU-XL800 涡轮泵控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。 SCU-XL800 涡轮分子泵控制器可降低 300 Hz 以下的振动级,这种级别的振动使用机械隔振器很难消除。

产品描述
概述
完全数字化的 SCU-XL800 涡轮泵控制器与 600 l/s 到 1300 l/s 范围内的 STP 涡轮泵兼容。
SCU-XL800 可降低 300 Hz 以下的振动级,这种级别的振动使用机械隔振器很难消除。  
它使用数字信号处理器 (DSP) 技术,可在整个频谱范围内实现亚毫微米的振动级。此控制器适用于电子显微镜检查、度量学和光刻系统,在这些系统中,低的振动对于应用至关重要。

功能和优势
提高了 STP 泵系列的性能
新型磁力轴承系统可在整个频谱范围内实现亚毫微米级振动
降低了低频振动幅度,这种级别的振动使用机械隔振器很难消除
自动平衡系统 (ABS)
自动减振 (AVR)
兼容的型号
STP-603/1003、STP-A803/A1303C
自动识别适用的泵
上等预维护功能
**的维护定时
双级警告信息
转子不平衡监控
后备轴承损坏监控
自行诊断功能
认证

符合 SEMI®,具有 CE 标记,列于 UL 中


技术数据

输入电压 100-120V±10%*,VAC
200-240V ±10% VAC
输入电源 *大 850 VA
输入频率 50/60 ±2 Hz
输入相位 单相
主断路器 15 A
正常速度下的输出电压 *大 80 VAC
正常速度下的输出频率 *大 800 Hz
允许的环境温度 °C (°F)
存储温度 °C (°F)
重量 Kg (lb)
时间显示功能 内部
通信接口 RS232C/RS485/
I/O 远程
监视功能 可选附件:
STP-Link 监视软件
* ** STP-603/1003 系列

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