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产品详情
简单介绍:
HT16B Edwards油蒸汽扩散泵产品中的产品,采用针对工业级用户的制造。
HT16B Edwards油蒸汽扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。
详情介绍:
概述
HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品,采用针对工业级用户的制造。
Edwards HT16B(ANSI16/ISO5000 进气口)扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),适合涉及大量气体的工业制程。
应用
真空冶金
蒸馏、干燥和脱气
薄膜覆层和喷镀
大型研究活动
功能和优势
与同等尺寸的泵相比,吞吐量高
与同等尺寸的泵相比,转换压力快
的大前级压力和对气体激增的耐受性
与同等尺寸的泵相比,具有无可比拟的抽速
集成的冷却帽,可实现佳性能和极低的回流
针对低压的自行分馏
易于更换的加热器组件
半功率节能待机模式
油位观察窗为标准配置
† 通过总压力测量获得的 ISO 速度和吞吐量数据。部分压力读数通常使数据增加 ~30%。对于同一个泵,ISO 速度测量通常比 AVS 测量小 10%。
‡ 提供这些数据仅供参考,请联系 Edwards 获得适合您的应用的泵组合建议。
HT 高吞吐量系列是我们扩散泵产品中的产品,采用针对工业级用户的制造。
Edwards HT16B(ANSI16/ISO5000 进气口)扩散泵可用于高、低负荷的工业应用。构造坚固,即使在高压条件下也提供极高的抽速。机械加工的铸造铝制内核可提供稳定的性能,不锈钢的泵体具有防腐蚀的特性,可以制程清洁度。这些泵可在 4 × 10-3 mbar 时提供极高的吞吐量(压力乘以抽速),适合涉及大量气体的工业制程。
应用
真空冶金
蒸馏、干燥和脱气
薄膜覆层和喷镀
大型研究活动
功能和优势
与同等尺寸的泵相比,吞吐量高
与同等尺寸的泵相比,转换压力快
的大前级压力和对气体激增的耐受性
与同等尺寸的泵相比,具有无可比拟的抽速
集成的冷却帽,可实现佳性能和极低的回流
针对低压的自行分馏
易于更换的加热器组件
半功率节能待机模式
油位观察窗为标准配置
数据
相对抽速 | 11580 ls-1 |
ISO 抽速† |
|
氮气 | 6500 ls-1 |
氦气 | 7200 ls-1 |
AVS 泵送 |
|
氮气 | 7220 ls-1 |
氦气 | 8000 ls-1 |
大吞吐量(氮气) | 18 mbar ls-1 |
|
13.5 Torr ls-1 |
临界前级压力 (DC704EU) | 1.4 mbar |
|
1 Torr |
大吞吐量时的前级泵排量 | 94 m3h-1 |
|
55 ft3min-1 |
的前级泵‡ | GV80,GXS250,E2M175 |
的液体 | DC704EU |
液体充填量(干) | 2400 ml / 2.5 qt |
进气口/前级连接 | ANSI16/ANSI3 或 |
|
ISO500/ISO100 |
水接头 | 3/4 英寸 NPT 母头 |
加热器功率 | 9 kW/12 hp |
预热时间 | 60 min |
冷却水流量(25 °C 时) | 700 l h-1 / 3.1 US gal min-1 |
冷却水供给源两端的压力降 | 1 bar / 14.5 psi |
重量 | 185 kg / 408 lbs |
† 通过总压力测量获得的 ISO 速度和吞吐量数据。部分压力读数通常使数据增加 ~30%。对于同一个泵,ISO 速度测量通常比 AVS 测量小 10%。
‡ 提供这些数据仅供参考,请联系 Edwards 获得适合您的应用的泵组合建议。