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  • 产品名称：EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵

  • 产品型号：EPX180LE
  • 产品厂商：Edwards
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简单介绍：
EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵采用已获的单轴 Holweck® 分级机构， 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。 EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。
详情介绍：
EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵概述
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是：工作性能，运行成本更低。 EPX180 使用了的保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

EPX LE 系列的泵具有一个终用户控制器 (EUC)。 通过终用户控制器可以实现独立使用的本地控制，并能够连接到结构的网络，以进行远程控制和监视。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵

EPX系列干式真空泵支持清洁和轻型半导体加工应用，如灰化/剥离和注入端点站应用。

EPX系列干式真空泵以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能，可实现异常清洁的真空。EPX半导体高真空干泵采用已获的单轴Holweck®分级机构，能够从大气压抽空到小于7x10-7Torr的极限压力。 

EPX真空泵能够以模块化组件提供增强的性能，既可集成到制程工具，又可以远程安装。此外，通过集成的 MicroTIM电子模块还可以与制程工具轻松建立通信连接。
EPX真空干泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作，增压室内无润滑或密封液。这样可以泵送系统清洁，不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中。
EPX干泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此，EPX真空泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头（由客户指定）连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件（湿度和温度）相当，以便不会达到结。
泵装有一个EMC供应过滤器和一个变换器驱动，该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的LED标识EPX真空泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时，马达会加速到某个速度，该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低，马达速度会加快，直至该速度终达到其预定的大速度。如果入口处的压力增大，则马达速度会再次减慢。
EPX L系列的泵不能进行手动操作；这些泵必须通过外部控制设备进行控制和监视，而控制设备必须通过工具接口模块(TIM)连接到 EPX真空泵。
EPX真空泵由四个振动隔离器进行支持。

泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵应用

EPX系列涵盖的应用，从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的工具上泵之一，EPX高真空干泵节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式，从而可大化功率效率。
的保护机械装置–EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在进气口压力下连续工作。
清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX高真空泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
–EPX高真空泵基于经过现场验证的IPX，具有13年的MTBFp(SEMI E10)，大约每5年维修一次，大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络-EPX系列干泵配有终用户控制，可以连接到结构的网络，以进行诊断监视和控制。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵数据

峰值速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限真空

<1 x 104 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
预热时间（达到标称性能） 30 分钟
入口法兰 ISO63
法兰 NW25
噪音 <59 dB(A)
水接头 3/8 in 快速
冷却水流速 2 lm-1
冷却水温度 15 – 35°C
电源供给 200/208 V，50/60 Hz 三相
极限功率 1.4 kW
电机额定功率 3.0 kW
TIM 无
重量 43.5 kg



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