英国爱德华真空泵-Edwards 主营:真空泵

EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵

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  • 产品名称:EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵
  • 产品型号:EPX180LE
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵采用已获砖利的独特单轴再生 Holweck® 分级机构, 能够从大气压抽空到小于 7 x 10-7Torr 的极限压力。 EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵以极轻、极小的 封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。

产品描述
EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵概述
新的紧凑型 EPX180 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。 EPX180 使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

EPX LE 系列的泵具有一个*终用户控制器 (EUC)。 通过*终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到各种结构的网络,以进行远程控制和监视。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵技术

EPX系列干式真空泵支持清洁和轻型半导体加工应用,如灰化/剥离和注入端点站应用。

EPX系列干式真空泵以极轻、极小的封装提供工具上泵送功能,可实现异常清洁的真空。EPX半导体高真空干泵采用已获砖利的独特单轴再生Holweck®分级机构,能够从大气压抽空到小于7x10-7Torr的极限压力。 

EPX真空泵能够以模块化组件提供增强的性能,既可集成到制程工具,又可以远程安装。此外,通过集成的 MicroTIM电子模块还可以与制程工具轻松建立通信连接。
EPX真空干泵系统在大气压和极限真空之间的压力下工作,增压室内无润滑或密封液。这样可以确保泵送系统清洁,不会因为系统的排空而使油或液体回流到系统中。
EPX干泵的定子和封闭马达通过集成化水冷回路进行冷却。因此,EPX真空泵适合在不允许使用风扇的洁净室环境下使用。冷却水供应和回水管通过水接头(由客户指定)连接到泵。冷却水的提供必须与环境条件(湿度和温度)相当,以便不会达到结露点。
泵装有一个EMC供应过滤器和一个变换器驱动,该驱动可提供和控制泵马达的电源。前盖上的LED标识EPX真空泵的状态。马达速度取决于泵入口处的压力。当泵在入口压力处于或接近大气压的情况下启动时,马达会加速到某个速度,该速度受可以由变换器驱动提供的电流限制。随着入口处的压力降低,马达速度会加快,直至该速度*终达到其预定的*大速度。如果入口处的压力增大,则马达速度会再次减慢。
EPX L系列的泵不能进行手动操作;这些泵必须通过外部控制设备进行控制和监视,而控制设备必须通过工具接口模块(TIM)连接到 EPX真空泵。
EPX真空泵由四个振动隔离器进行支持。

泵保护传感器可在出现故障状态时自动关闭泵。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵应用

EPX系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。

EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的**工具上泵之一,EPX高真空干泵显著节省了占地面积。EPX可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可*大化功率效率。
独特的砖利保护机械装置–EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX高真空泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠–EPX高真空泵基于经过现场验证的IPX技术,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修一次,*大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络-EPX系列干泵配有*终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。


EPX180LE 爱德华半导体高真空干泵技术数据

峰值速度 170 m3h-1

105 ft3min-1

2835 lmin-1
极限真空

<1 x 104 mbar

<7.5 x 10-5 Torr

<1 x 10-2 Pa
预热时间(达到标称性能) 30 分钟
入口法兰 ISO63
出口法兰 NW25
噪音 <59 dB(A)
水接头 3/8 in 快速
**冷却水流速 2 lm-1
冷却水温度 15 – 35°C
电源供给 200/208 V,50/60 Hz 三相
极限功率 1.4 kW
电机额定功率 3.0 kW
TIM
重量 43.5 kg



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