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- 产品名称：EPX500L Edwards半导体高真空干泵
- 产品型号：EPX500L
- 产品展商：Edwards
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简单介绍
EPX500L Edwards半导体高真空干泵使用了独特的砖利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。
EPX500L Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
产品描述
EPX500L Edwards半导体高真空干泵概述
新的紧凑型 EPX500 高真空干泵的特性是：工作性能更佳，运行成本更低。EPX500 使用了独特的砖利保护机械装置，能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。
模块化 EPX500 基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列，可提供**的性能，与 IPX 相比，包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。
EPX500L Edwards半导体高真空干泵应用
EPX 系列涵盖广泛的应用，从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“L”系列旨在用于泵送惰性气体混合物（如负荷锁定）且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。
EPX500L Edwards半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积 – 作为可用的**工具上泵之一，EPX 显著节省了占地面积。EPX 可以直接安装到工具上，从而节省了前级管道和安装成本，如果需要也可远程安装。
低运行成本 - EPX 仅需要 1.4 kW 的功率和整合空闲模式，从而可*大化功率效率。
独特的砖利保护机械装置 – EPX 可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力，并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置 – 传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑，这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂，并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠 – EPX 基于经过现场验证的 IPX 技术，具有 13 年的 MTBFp (SEMI E10)，大约每 5 年维修一次，*大程度地延长了泵的使用寿命。
可兼容的网络 - EPX 系列配有*终用户控制，可以连接到各种结构的网络，以进行诊断监视和控制。
EPX500L Edwards半导体高真空干泵技术数据
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峰值速度
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500 m3h-1
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295 ft3min-1
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8338 lmin-1
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极限真空
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<1 x 10-6 mbar
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<7 x 10-7 Torr
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<1 x 10-4 Pa
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预热时间（达到标称性能）
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30 分钟
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入口法兰
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ISO160
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出口法兰
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NW25
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噪音
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<59 dB(A)
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**冷却水流速
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2 lmin-1
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冷却水温度
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15 – 35°C
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电源供给
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200/208 V，50/60 Hz，3 相
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极限功率
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1.4 kW
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电机额定功率
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3.0 kW
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TIM
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C3
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重量
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45.2 kg
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