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EPX500LE Edwards半导体高真空干泵

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  • 产品名称:EPX500LE Edwards半导体高真空干泵
  • 产品型号:EPX500LE
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

EPX500LE Edwards半导体高真空干泵使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于7x10-5Torr的极限压力。 EPX500LE Edwards半导体高真空干泵用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

产品描述
EPX500LE Edwards半导体高真空干泵概述
新的紧凑型 EPX500LE 高真空干泵的特性是:工作性能更佳,运行成本更低。EPX500 使用了独特的砖利保护机械装置,能够从大气压抽空到小于 7 x 10-5 Torr 的极限压力。

模块化 EPX500LE基于备受赞誉、大获成功的 IPX 系列,可提供**的性能,与 IPX 相比,包装重量轻了 20%、体积小了 30% 且功率降低了 40%。

EPX LE 系列的泵具有一个*终用户控制器 (EUC)。通过*终用户控制器可以实现独立使用的本地控制,并能够连接到各种结构的网络,以进行远程控制和监视。


EPX500LE Edwards半导体高真空干泵应用
EPX 系列涵盖广泛的应用,从水处理到中度工作负载的制程。
EPX“LE”系列旨在用于泵送惰性气体混合物(如负荷锁定)且通过制程机台接口提供控制的清洁工作应用。

EPX500LE Edwards半导体高真空干泵功能和优势
紧凑的占地面积–作为可用的**工具上泵之一,EPX 显著节省了占地面积。EPX真空泵可以直接安装到工具上,从而节省了前级管道和安装成本,如果需要也可远程安装。
低运行成本-EPX真空泵仅需要1.4 kW的功率和整合空闲模式,从而可*大化功率效率。
独特的砖利保护机械装置–EPX干泵可以从大气压抽空到涡轮分子基准压力,并可以在所有进气口压力下连续工作。
超清洁机械装置–传统的高真空轴承底油脂使用油脂润滑,这可能成为制程工具中污染源。EPX 泵没有高真空轴承底油脂,并且不存在任何其他的潜在污染源。
非常可靠–EPX干泵 基于经过现场验证的IPX技术,具有13年的MTBFp(SEMI E10),大约每5年维修一次,*大程度地延长了泵的使用寿命。

可兼容的网络-EPX系列配有*终用户控制,可以连接到各种结构的网络,以进行诊断监视和控制。


EPX500LE Edwards半导体高真空干泵技术数据

峰值速度 500 m3h-1

295 ft3min-1

8338 l min-1
极限真空

<1 x 10-6 mbar

<7 x 10-7 Torr

<1 x 10-4 Pa
预热时间(达到标称性能) 30 分钟
入口法兰 ISO160
出口法兰 NW25
噪音 <59 dB(A)
**冷却水流速 2 lmin-1
冷却水温度 15 – 35°C
电源供给 200/208 V,50/60 Hz,3 相
极限功率 1.4 kW
电机额定功率 3.0 kW
TIM
重量 45.2 kg

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