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iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards描述
Edwards iXL120 是紧凑型低能量的 110 m3h-1 干泵，用于水处理和其他清洁工作应用。 它可快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。
Edwards iXL120 是可用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。 其低振动和低噪音级别的使其适合于安装在机台上或工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。 通过环保模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低操作成本并帮助保护环境！
iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards特性与优势
的舱室抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗有助于程度减少客户成本
环保模式可以在空闲期间多减少 92% 的功耗
35 oC 的水供给有助于降低设备冷却水要求
极小且极轻，有助于节省宝贵的工厂空间
油润滑的轴承可顺畅、低振动的运行，无需例行维护工作。
的双入口布置可实现高效的前级输送和位置选件
零氮吹扫选件无需氮气供给，从而节省安装和运行成本
iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards参数
| 产品 | iXL120 |
| 峰值速度 | 110 m3h-1 |
|
|
65 cfm |
|
|
1833 lmin-1 |
| 极限压力（典型） | 0.013 mbar |
|
|
0.009 Torr |
|
|
1.3 Pa |
| 极限功率 | 0.55 kW |
| 环保模式功率 | 0.045 kW |
| 进气口连接 |
|
| 垂直 | ISO63 |
| 水平 | NW50 |
| 连接 | NW25 |
| 冷却水接头 | 可选 |
| 水流量 | 1 lmin-1 |
| 重量 | 59 kg |
iXL120 爱德华半导体真空干泵-Edwards订购信息
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113010
iXL120 E 200-460V 1/4 QC 冷却水接头，PN：A54113020
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113610
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷却水接头，PN：A54113710
iXL120 E 200-460V 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113011
iXL120 E 200-460V SPI 1/4 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113221
iXL120 E 200-460V HIT 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A54113611
iXL120 E 200-460V MCM 3/8 QC 冷却水接头流量控制阀，PN：A5411
iXL 高性能干式真空泵机组
iXL 系列干泵满足 平板显示器 (FPD)、半导体和太阳能制造市场 涉及的排气要求。
这些性能的 泵旨在大限度地提高基板吞吐量，同时尽可能降低功耗、 占地面积和重量。此外，大修间隔期内无须 维护。
适用于半导体和太阳能应用的小型 iXL 干泵
iXL120：紧凑型低能量的 110 m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它可 快速抽空负载锁定舱室，能耗极低。可 用于负载锁定和清洁应用的且轻的泵之一。 其低振动和低噪声级的使其适合于安装在机台上或 工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的工厂地面空间。环保 模式可在空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
的舱室抽空时间可减少 总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功耗 有助于大程度减少客户成本
环保模式可以在空闲 期间多减少 92% 的功耗
高 35oC 的水 供给有助于降低设备冷却水要求
极小且极轻， 有助于节省宝贵的工厂空间
适用于严苛应用的大型 iXL 干泵
iXL1000：紧凑型低能量的干 泵，适用于轻负载应用。它提供快速舱室抽空和 极低的功耗。可用于轻负载应用（如晶圆加工、PVD 和 计量）的且安静的泵之一。此产品 在高度成功的 iXL120 泵的基础上构建，具有高抽取速度和 低能耗特性。通过环保模式可在空闲期间降低设备 使用率，从而降低成本并帮助保护环境。
的舱室 抽空时间可减少总体平均循环时间 (TACT)
仅仅 0.55kW 的功 耗有助于大程度减少客户成本
环保模式可以在 空闲期间多减少 92% 的功耗
高 35oC 的水供给有助于 降低设备冷却水要求
极小且极 轻，有助于节省宝贵的工厂空间
适用于 Applied Materials 制程平台的 IPUP
IPUP2：紧凑型低能量的 180m3/h 干泵，用于晶圆加工和其他清洁工作应用。它能够 以低能耗快速抽空负载锁定舱室。
IPUP2 小巧轻便，适用于负载锁定 和清洁应用。其低振动和低噪声级的使其适合于 在机台上使用或安装在工厂的夹心层中，从而有助于节省宝贵的 工厂地面空间，同时大程序地提高泵送性能。环保模式可在 空闲期间降低设备使用率，从而降低使用成本， 有助于保护环境。
适合在 Applied Materials 的制程平台上使用， 可提高处理能力，同时减少能耗。
3 万亿次循环 MTBF
与原始 IPUP™ 相比，速度 提高 50%，能耗降低 70%
提供适用于现有 IPUP™ 的 插入式替换部件
