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产品详情
简单介绍:
iH600 Edwards半导体干式真空泵为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
iH600 Edwards半导体干式真空泵在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
详情介绍:
iH600 Edwards半导体干式真空泵概述
Edwards 半导体真空泵已经过现场应用证明,可以按照高工作标准运行。通过延长使用寿命、提高运行时间并提高生产率,同时大程度地减小占地面积、降低运行成本,实现了高的性和性能。iH 系列为难以执行的制程(如存在微粒、易冷凝和腐蚀性副产品的 PECVD 和 LPCVD 制程)提供了高性。
iH600 Edwards半导体干式真空泵应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
刻蚀
植入源
HDP CVD
RTP
SACVD
MCVD
PECVD
LPCVD
ALD
有关任何特定应用条件下 iH 系统稳定性的建议,请与 Edwards 联系。
iH600 Edwards半导体干式真空泵功能和优势
优化了设施消耗。
无需预防性维护。
悬臂轴和的异型转子便于颗粒的处理。
在节省电机功率的同时大程度提高了工作繁重的 CVD 应用条件下的稳定性。
耐腐蚀的制造材料允许泵送腐蚀性气体。
较高的工作温度为避免气体冷凝提供了充分的。
整体式轴杆无需使用电机联结器,而第五级泵消除了使用消音器的需要并消除了颗粒堆积,从而降低了总体占地面积。
iH600 Edwards半导体干式真空泵数据
峰值速度 | 600 m3h-1 |
353 cfm | |
10000 l min-1 | |
极限真空 | 7 x 10-4 mbar |
5.3 x 10-4 Torr | |
0.07 Pa | |
典型轴封氮流量 | 4 slm |
进气口连接 | ISO100 |
连接 | NW40 |
15 psi 压降下典型冷却水流量 | 240 l h-1 |
4 l min-1 | |
重量 | 415 kg |
极限功率输入 | 3.4 kW |
电机额定功率 | 6.1 kW |
油容量 | 1.43 l |
数字均为无气镇时的典型值。
iH600 Edwards半导体干式真空泵订购信息
iH600 干式泵 460V,60 Hz,3 相 A59020908
iH600 干式泵 200/208V,50/60 Hz,3 相 A59020945
iH600 干式泵 380/415V,50 Hz,3 相 A59020946
iH600 干式泵 230V,60 Hz,3 相 A59020957