英国爱德华真空泵-Edwards 主营:真空泵

GX100N 爱德华半导体干式真空泵

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  • 产品名称:GX100N 爱德华半导体干式真空泵
  • 产品型号:GX100N
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

GX100N 爱德华半导体干式真空泵为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。 GX100N 爱德华半导体干式真空泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

产品描述
概述

GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
GX 干泵包括以太网连接功能,允许通过网页查看主要数据,另外还包括一套**的网络选项,可确保泵持续运转。
GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载的各种工艺。模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。


应用

负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
金属腐蚀
植入源


功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本*多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的*快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1


技术参数

绩效
峰值速度 105 m3h-1

62 ft3min-1

1750 lmin-1
极限压力 5 x 10-3 mbar

3.75 x 10-3 Torr

0.5 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
功率 1 kW
AUC(有源设备控制器) 0.05 kW
水*
水入口 1 slm
氮气 0 slm
安装详细信息
占地面积(不包括排气装置) 0.20 m2
重量 120 kg
进气口连接 ISO 63
出气口连接 NW25
极限噪音 <55 dB(A)

  
* 需要恒流阀附件


GX100L 爱德华半导体干式真空泵订购信息:
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958

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