英国爱德华真空泵-Edwards 主营:真空泵

GX1000N 爱德华半导体干式真空泵

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  • 产品名称:GX1000N 爱德华半导体干式真空泵
  • 产品型号:GX1000N
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

GX1000N 爱德华半导体干式真空泵为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。 GX1000N 爱德华半导体干式真空泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

产品描述
製品概要
GX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。 效率提高的同时降低了运行成本,并在整个压力范围内保持连续一致的泵送能力。
GX 泵的峰值速度范围很宽,并可以改变以适合各种应用条件,包括从清洁到中等负载制程。 模块化设计允许用户对 GX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。 超紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。

应用
负载锁
输送
计量
平版印刷
PVD 制程
PVD 预清洁
RTA
剥离/灰化
氧化物腐蚀
金属腐蚀
植入源


功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比,设施成本*多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便,便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的*快的负载锁定泵之一
全程一致的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1


技术参数

绩效
峰值速度 800 m3h-1

471 ft3min-1

13333 lmin-1
极限压力 1 x 10-3 mbar

7.5 x 10-4 Torr

0.10 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
功率 1.6 kW
AUC(有源设备控制器) 1.05 kW
水*
水入口 2 slm
氮气 4 或 14 slm **
安装详细信息
占地面积(不包括排气装置) 0.20 m2
重量 230 kg
进气口连接 ISO 100
出气口连接 NW25
极限噪音 <55 dB(A)

* 需要恒流阀附件


GX1000N 爱德华半导体干式真空泵订购信息:
GX100L 200 - 230V 50/60Hz A54710958
GX100L 380 - 460V 50/60Hz A54710959
GX100N 200 - 230V 50/60Hz A54711958
GX100N 380 - 460V 50/60Hz A54711959
GX600L 200 - 230V 50/60Hz A54730958
GX600L 380 - 460V 50/60Hz A54730959
GX600N 200 - 230V 50/60Hz A54731958
GX600N 380 - 460V 50/60Hz A54731959
GX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54781958
GX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54781959
GX100TI 200 - 230V 50/60Hz A54746958

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