iGX 干式真空泵系列为大修之间零维护树立了新标准。效率提高的同时降低了运行成本，并在整个压力范围内保持连续的泵送能力。
iGX 干泵包括以太网连接功能，允许通过网页查看主要数据，另外还包括一套的网络选项，可泵持续运转。
iGX 泵的峰值速度范围很宽，并可以改变以适合应用条件，包括从清洁到中等负载的工艺。模块化设计允许用户对 iGX 干泵进行配置以适合各个工厂的要求。紧凑的占地面积允许使用包括工具上、近程和远程在内的多种安装选项。
应用
- 负载锁
- 输送
- 计量
- 平版印刷
- PVD 制程
- PVD 预清洁
- RTA
- 剥离/灰化
- 氧化物腐蚀
- 硅腐蚀
- 金属腐蚀
功能和优势
低运行成本
与 iL/iH 干泵相比，设施成本多可降低 50%
无需预防性维护
灵活的安装选项
小巧轻便，便于安装
工具上、近程或远程
可以改进工具吞吐量
可用的快的负载锁定泵之一
全程的泵送性能
在 50 和 60 Hz 下抽速相同
降低了环境噪音
仅 55 dB(A)
峰值速度范围宽
100、300、600 和 800 m3h-1
参数
峰值速度
800 m3h-1
471 cfm
13333 l min-1
极限压力
1.00E-03 mbar
7.50E-04 Torr
0.10 Pa
700 Torr 排气压力下的极限
极限
1.6 kW
AUC（有源设备控制器）
1.05 kW
水入口
2 slm
氮
4 或 14 slm
占地面积（不包括排气装置）
0.20 m2
重量
230 kg
进气口连接
ISO100
连接
NW25
极限噪音
< 55 dB(A)
需要恒流阀附件。
iGX100L 200 - 230V 50/60Hz A54610958
iGX100L 380 - 460V 50/60Hz A54610959
iGX100N 200 - 230V 50/60Hz A54611958
iGX100N 380 - 460V 50/60Hz A54611959
iGX100M 200 - 230V 50/60Hz A54612958
iGX100M 380 - 460V 50/60Hz A54612959
iGX600L 200 - 230V 50/60Hz A54630958
iGX600L 380 - 460V 50/60Hz A54630959
iGX600N 200 - 230V 50/60Hz A54631958
iGX600N 380 - 460V 50/60Hz A54631959
iGX1000M 200 - 230V 50/60Hz A54632958
iGX1000M 380 - 460V 50/60Hz A54632959
iGX1000N 200 - 230V 50/60Hz A54681958
iGX1000N 380 - 460V 50/60Hz A54681959
iGX100MTI 200 - 230V 50/60Hz A54648958
