英国爱德华真空泵-Edwards 主营:真空泵

iXH 干式工业级真空泵系统

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  • 产品名称:iXH 干式工业级真空泵系统
  • 产品型号:
  • 产品展商:Edwards
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简单介绍

iXH 干式工业级真空泵系统系列干泵产品是 Edwards 的市场** iH 产品的换代升级,为严苛制程能力 树立了新标准,它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。 iXH 干式工业级真空泵系统可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 **大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有*大可靠性。

产品描述
iXH 干式工业级真空泵系统

iXH 系列干泵产品是 Edwards 的市场** iH 产品的换代升级,为严苛制程能力 树立了新标准,它在世界上的许多 300mm 半导体和平板 工厂内通过提高制程可靠性实现低拥有成本。 
可满足 FPD、太阳能、 半导体和 LED 制造业中日益提高的气体流量要求的 **大容量干泵和增压泵系列。 除了具有高峰值抽取速度外,这些泵还配备多种特性 以确保在严苛制程中具有*大可靠性。 
iXH 泵采用模块化设计,符合 当今的制程要求,并且对于前沿工厂中不断涌现的应用挑战 有着路线明确的应对计划。



应用

半导体的目标应用包括:
PECVD
高 K
低 K
SACVD
LPCVD
ALD
EPI

FPD 的目标应用包括:
PECVD
TCO
刻蚀
传输腔

主要特性和优势
针对先进的 EPI 和太阳能制程大幅提高了氢气抽取速度。
大容量干泵和 增压泵提供扩展的制程窗口以提高产量。
占地面积更小,高度更低,便于在任何工厂中安装。

符合主要的国际标准,包括 UL、CE 和 S2。可以始终如一地使用或省略不用。




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