产品
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- E2M系列双级旋片泵
- nES系列单级旋片泵
- ES系列单级旋片泵
- nXDS系列干式涡旋泵
- nXLi系列干式真空泵
- EDC系列爪式真空泵
- EOSi系列喷油螺杆泵
- EH系列罗茨真空泵
- EDS系列干式螺杆泵
- GXS系列干式螺杆泵
- GV系列爪式真空泵
- T-Station涡轮分子泵小车
- STP系列涡轮分子泵
- Stokes滑阀泵
- Stokes 6罗茨泵
- D-LAB系列隔膜真空泵
- nEXPT系列分子泵站
- nEXT系列涡轮分子泵
- EDP系列化工爪式干泵
- CXS系列化工螺杆真空泵
- CDX系列化工螺杆真空泵
- HT系列油蒸汽扩散泵
- iH系列半导体真空干泵
- iXH系列半导体真空泵
- iXL系列半导体真空干泵
- EPX系列半导体真空干泵
- GX系列半导体干式泵
产品详情
简单介绍:
厂务真空系统-4备1方案 中央真空系统定制
厂务真空系统-4备1方案 负压系统规划设计
详情介绍:
真空系统。是由真空泵、PLC程序控制系统、储气罐、真空管道、真空阀门、境外过滤总成等组成的成套真空系统。目前,该系统应用于电子半导体业、光电背光模组、机械加工等行业。
该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。
该真空系统出厂时已经包括了抽速控制、进气过滤、主要运行数据显示、运行保护及远程控制接口等。只需要在现场进行简单的连接电源和管道,即可以组成一个完整的真空系统。该真空系统的控制系统由的PLC控制系统经过编程后组成,以触摸屏为人机界面,实现对真空系统、工件行走、磁控靶、工艺设定和执行、报警保护系统等的全自动化控制。